Оборудование для процессов литографии

В данном разделе представлены установки совмещения и экспонирования, а также установки для нанесения и задубливания фоторезистивного слоя. В линейке оборудования компании 3-S присутствуют как простые установки для совмещения с точностью выравнивания 2 мкм, идеально подходящие для учебных заведений, так и продвинутые, обладающие точностью выравнивания 1 мкм и двойной CCD камерой. Для нанесения фоторезиста компания 3-S предлагает центрифуги с прецизионной скоростью вращения, оборудованные ручным или автоматизированным управлением с возможностью программирования. Также в линейке продукции 3-S присутствуют установки для сушки/задубливания фоторезиста на нагревательной плите и сушки пластин в инертном газе (азоте).

Продукты

Установка совмещения начального уровня. Семейство EZA

  • Подходит для университетских нужд
  • Подходит для решений с ограниченным бюджетом
  • Анти-вибрационный стол
  • 4-х дюймовые пластины
  • Мощность лампы 250 Ватт
  • Длины волн 300-400 нм
  • Высококачественная оптика
  • Точность выравнивания 2 мкм
  • Точная установка зазоров

Установка совмещения среднего уровння. Семейство MA

  • Подходит для применения в исследованиях
  • Хорошее соотношение цена/качество
  • Выравнивание с помощью одного ПЗС (стандарт)
  • Выравнвание с помощью 2-х ПЗС (опция)
  • Мощность лампы 350, 500 и 1000 Ватт
  • Длины волн 300-400 мкм
  • Высококачественная оптика
  • Точная установка зазоров
  • Точность выравнивания 1 мкм

Установка совмещения высокого уровня. Семейство SA

  • Односторонняя система выравнивания (с верхней стороны)
  • Выравнивание с помощью 2-х ПЗС
  • Пневматический подъем микроскопа (опция)
  • Размер пластин: 4, 6, 8 дюймов
  • Мощность лампы 350, 500 и 1000 Ватт
  • Длины волн: 300 — 400 нм
  • Высококачественная оптика
  • Wedge Error Compensation (WEC)
  • Точность выравнивания: 1 мкм
  • Сенсорная панель управления (опция)
  • Регулировка держателя маски: 10 мм
  • Точная установка зазора

Установка экспонирования. Семейство FA

  • Отсутствует система выравнивания
  • Отсутствует система изображения
  • Размер пластин: 4, 6 и 8 дюймов
  • Мощность лампы 350, 500 и 1000 Ватт
  • Длины волн 300-400 мкм
  • Высококачественная оптика
  • Точная установка зазоров

Двухсторонняя установка совмещения. Семейство DA

  • Двухсторонняя система выравнивания
  • Выравнивание с обратной стороны с помощью ПЗС
  • Выравнивание с обратной стороны с помощью ИК (опция)
  • Размер пластин: 4, 6, 8 дюймов
  • Мощность лампы 350, 500 и 1000 Ватт
  • Длины волн: 300 — 400 нм
  • Высококачественная оптика
  • Wedge Error Compensation (WEC)
  • Точность выравнивания: 1 мкм
  • Сенсорная панель управления (опция)
  • Регулировка держателя маски: 10 мм
  • Точная установка зазора

Установка нанесения фоторезиста EC4

  • Габаритные размеры, ширина х длина х высота (мм): 350х400х325
  • Скорость вращения: 200 – 7000 об./мин.
  • Диаметр центрифуги: 260 мм
  • Размер подложки: до 4 дюймов.
  • Двухступенчатое контроль скорости вращения посредством ручек управления
  • Таймер: 0 – 999 сек.
  • Диаметр подложкодержателя: 4 дюйма
  • Ручное закрытие/открытие крышки
  • Ручное дозирование фоторезиста
  • Экстренная остановка
  • Вес: 20 кг

Установка нанесения фоторезиста TC6

  • Сенсорная панель
  • Программируемое автоматизированное управление
  • Сервопривод на переменном токе
  • Программируемый алгоритм работы
  • Управление разгоном
  • Прецизионная скорость вращения
  • Выпускная труба (газоотвод)
  • Низковауумный
  • Механизм блокировки при низком вакууме
  • Экстренная остановка

Установка задубливания фоторезиста. Семейство HP

  • Умеренная стоимость
  • Вакуумный фиксатор
  • Равномерное распределение температуры
  • Приподнятый подложкодержатель
  • Программируемый алгоритм работы
  • Выпускная труба (газоотвод)
  • Экстренная остановка

Установка для сушки фоторезиста в инертном газе HND1000

  • Минимальная занимаемая площадь
  • Сокращенная продолжительность сушки
  • Отсутствие разводов
  • Низкое дефектообразование
  • Допускается работа с фрагментами пластин.
  • Быстрая перенастройка
  • Электрозащита
  • Механизм блокировки при перегреве