Зондовые измерения на пластинах

В сегменте зондовых измерений на полупроводниковых пластинах компания 3-S предлагает несколько семейств ручных зондовых станций для исследования пластин диаметром до 200 мм, основанных на гибкой универсальной платформе, и охватывающих обширный спектр измерительных задач от измерений по постоянному току до высокочастотных измерений с максимальной частотой до 67 ГГц. Для каждого семейства зондовых станций доступна термоопция 200°/300°. В офисе нашей компании вы можете ознакомиться с образцами зондовых станций и приобрести оборудование со склада, ассортимент которого постоянно пополняется. В данный момент на нашем складе имеется зондовая станция SPS6TRIAX.

Продукты

Начальные. 100/150 мм семейство EPS и SPS

Зондовые станции 3-S семейства EPS и SPS комплектуются держателем пластин 100 мм (EPS) и 150 мм (SPS) и микроскопами с увеличением до 180Х.

Стоимость от 700 000 руб.

Стандартные. 150/200 мм семейство APS

Зондовые станции 3-S семейства APS комплектуются держателями пластин 150 мм или 200 мм и микроскопами с увеличением вплоть до 400X.

Стоимость от 1 205 000 руб.

Аналитические. 150/200/300 мм семейство GPS

Зондовые станции 3-S семейства GPS комплектуются держателями пластин 150, 200 или 300 мм и микроскопами с увеличением вплоть до 400X.

Стоимость от 2 000 000 руб.

Зондовые системы с температурной камерой (AMC 150)

Зондовые системы с температурной камерой 3-S семейства AMC 150 комплектуются держателями пластин 150 мм и обеспечивают температурный режим от -30 до +200оС.

Двухсторонние зондовые станции

Двухсторонние зондовые станции 3-S позволяют проводить измерения с любой из сторон исследуемой структуры благодаря своей оригинальной конструкции.

Тестирование в магнитном поле

HFPS-50 – ручная зондовая станция, предназначенная для проведения измерений на субстратах, помещенных в сильное магнитное поле.

Криогенные системы

CRYO-80 – криогенно-вакуумная ручная зондовая станция для DC- и RF-измерений.