ЗАО «Группа Кремний ЭЛ»

Параметры

Зондовая станция 3-S SPS 4

  • Держатель пластин 100 мм, зонированная вакуумная фиксация, нержавеющая сталь
  • Перемещение держателя: 100 х 100 мм
  • Фиксированное перемещение держателя по Z: 5 мм
  • Перемещение микроскопа по осям X-Y: 25 х 25 мм
  • 4 DC микропозиционера с разрешением 3 мкм
  • Тринокулярный микроскоп с увеличением до 180X
  • Вес станции: 40 кг