Модель

SEMI 100 / SEMI 150 / SEMI 200 / SEMI 300

Тип

Полуавтоматическая

Держатель, мм

100 / 150 / 200 / 300

Перемещение держателя по осям X-Y:

Максимальная скорость перемещения

50 мм/с

Разрешение

0,5 мкм

Точность

±2 мкм

Повторяемость

<3 мкм

Механизм перемещения

Моторизованный

Перемещение держателя по оси Z:

Диапазон

10 мм

Максимальная скорость перемещения

20 мм/с

Разрешение

1,25 мкм

Точность

±2 мкм

Повторяемость

<3 мкм

Механизм перемещения:

Моторизованный

Перемещение держателя по углу поворота:

Диапазон

±10°

Разрешение

0,0018°

Механизм перемещения

Моторизованный

Подключение держателя

Коннектор BNC / Triax

Рабочий стол (рабочая поверхность):

Диапазон перемещения (подъем рабочего стола)

40 мм

Разрешение

5 мкм

Механизм перемещения

Ручной

Механизм перемещения микроскопа:

Диапазон перемещения по осям X-Y

50 мм x 50 мм

Диапазон перемещения по оси Z

50 мм

Механизм перемещения

Ручной (моторизованный - опционально)

Управляющее программное обеспечение:

Удаленное управление перемещением держателя по X, Y, Z и углу

+

Составление карты пластины

+

Автоматическое выравнивание (распознавание

образцов)

+

Выравнивание отдельных кристаллов

+

Выравнивание пластин

+

Библиотеки команд для совместной работы с

измерительным оборудованием

+

Термоопция 200°C / 300°C

+

Микрокамера -65 … +200°C

+

Макс. количество позиционеров

8

Размер, мм

650 x 650 x 750

Вес, кг

100

Стоимость, руб.

от 5 000 000

Доступные опции

Магнитная/вакуумная фиксация позиционеров, CCD/CMOS USB

камера, антивибрационный стол,

изолирующий («темный») ящик, устройство лазерной подгонки

Измерения

Измерения по постоянному току (коаксиальные, триаксиальные),

высокочастотные измерения (до 67 ГГц)