Зондовые станции 3-S семейства GPS комплектуются держателями пластин 150, 200 или 300 мм и микроскопами с увеличением вплоть до 400X.

Параметры:
Параметр/Модель
|
Аналитические
|
GPS
|
Тип
|
Ручная
|
Держатель, мм
|
150/200/300
|
Тип привода держателя
|
Шариковые винты
|
Термоопция 200°C / 300°C
|
+
|
Микрокамера -30 … +200°C
|
-
|
Микроскоп
|
Высокое
разрешение
|
Макс. разрешение микроскопа
|
400X
|
Тип крепления микроскопа
|
Высоко-стабильный мост
|
Диапазон перемещения микроскопа, мм
|
100 х 100
200 x 200
300 x 300
|
Макс. количество позиционеров
|
8
|
Тип рабочего стола
|
П-образный
|
Подъем стола, мм
|
10
|
Размер, мм
|
670 x 670 x 700
|
Вес, кг
|
125
|
Стоимость, руб.
|
от 1 500 000
|
Доступные опции
|
Магнитная/вакуумная фиксация позиционеров, CCD/CMOS USB камера, антивибрационный стол,
изолирующий («темный») ящик, устройство лазерной подгонки
|
Измерения
|
Измерения по постоянному току (коаксиальные, триаксиальные), высокочастотные измерения (до 67 ГГц)
|