Зондовые станции 3-S семейства EPS и SPS комплектуются держателем пластин 100 мм (EPS) и 150 мм (SPS) и микроскопами с увеличением до 180Х.

Параметр/Модель
|
Начальные
|
EPS
|
SPS
|
Тип
|
Ручная
|
Ручная
|
Держатель, мм
|
100
|
100/150
|
Тип привода держателя
|
Винтовой
|
Винтовой
|
Термоопция 200°C / 300°C
|
+
|
+
|
Микрокамера -30 … +200°C
|
-
|
-
|
Микроскоп
|
Трубка
|
Трубка
|
Макс. разрешение микроскопа
|
180X
|
180X
|
Тип крепления микроскопа
|
-
|
Штатив
|
Диапазон перемещения микроскопа, мм
|
-
|
25 x 25
|
Макс. количество позиционеров
|
4
|
4
|
Тип рабочего стола
|
Параллельные платформы
|
П-образный
|
Подъем стола, мм
|
-
|
-
|
Размер, мм
|
350 x 350 x 400
|
580 x 460 x 245 580 x 460 x 400
|
Вес, кг
|
20
|
41 / 45
|
Стоимость, руб.
|
от 700 000
|
от 1 000 000
|
Доступные опции
|
Магнитная/вакуумная фиксация позиционеров, CCD/CMOS USB камера, антивибрационный стол,
изолирующий («темный») ящик, устройство лазерной подгонки
|
Измерения
|
Измерения по постоянному току (коаксиальные, триаксиальные), высокочастотные измерения (до 67 ГГц)
|