Зондовые станции 3-S семейства APS комплектуются держателями пластин 150 мм или 200 мм с различными опциями и микроскопами с увеличением вплоть до 400X.

Параметры:
Параметр/Модель
|
Стандартные
|
SP
|
APS
|
Тип
|
Полуавтомат
|
Ручная
|
Держатель, мм
|
100/150/200/300
|
150/200
|
Тип привода держателя
|
Шариковые
винты
|
Шариковые винты
|
Термоопция 200°C / 300°C
|
+
|
+
|
Микрокамера -30 … +200°C
|
-
|
-
|
Микроскоп
|
Высокое
разрешение
|
Высокое
разрешение
|
Макс. разрешение микроскопа
|
400X
|
400X
|
Тип крепления микроскопа
|
Высокостабильный мост
|
Высокостабильный
кронштейн
|
Диапазон перемещения микроскопа, мм
|
25 x 25
|
25 x 25
|
Макс. количество позиционеров
|
8
|
6
|
Тип рабочего стола
|
П-образный
|
П-образный
|
Подъем стола, мм
|
10
|
-
|
Размер, мм
|
670 x 670 x 700
|
580 x 460 x 700
660 x 660 x 700
|
Вес, кг
|
125
|
60 / 80
|
Стоимость, руб.
|
от 1 500 000
|
от 1 200 000
|
Доступные опции
|
Магнитная/вакуумная фиксация позиционеров, CCD/CMOS USB камера, антивибрационный стол,
изолирующий («темный») ящик, устройство лазерной подгонки
|
Измерения
|
Измерения по постоянному току (коаксиальные, триаксиальные), высокочастотные измерения (до 67 ГГц)
|